CFB-1600復(fù)合分子泵一、產(chǎn)品簡介
復(fù)合分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵，是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高，牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點，擴展了分子泵的應(yīng)用范圍，廣泛應(yīng)用于光伏、照明、航天航空、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、材料、汽車、科研等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。
二、產(chǎn)品特點
復(fù)合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng)；由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。
三、主要性能指標(biāo) 型號 | CFB-1600 | 訂貨號 | 3155 | 3156 | 進氣口法蘭 | — | LF250 | CF250 | 排氣口法蘭 | — | KF50 | 抽氣速率 | L/s | 1600 | 壓縮比N2/H2 | — | 1×109/1×104 | 極限壓強 | Pa | 5×10-7 | 8×10-8 | 電機轉(zhuǎn)速 | rpm | 21000 | 啟動時間 | min | ＜6 | 振動值 | μm | ≤0.15 | 前極泵 | L/s | 15 | 冷卻水溫度 | ℃ | ≤20 | 泵體烘烤溫度 | ℃ | <120 | 冷卻水流量 | L/min | 1 | 加熱器功率 | W | <700 | 加熱器輸入電壓 | V | AC220 | 安裝方向 | — | 垂直±5° | 重量 | kg | ～39 |
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