日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 一、特性
• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大氣壓下實現操作運行。
• 可實現高極限真空。
• 低振動低噪音。
• 維護周期可通過計時表控制。
日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 二、應用
• 分析設備
• 氣體回收系統
• 涂料設備• TMP 前級泵
• 氦滲漏探測器
• 半導體制造工藝
日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 三、規(guī)格參數
| 單位 | 50Hz | 60Hz |
實際抽速 | L/min | 90 | 108 |
極限壓力 | Pa | 5.0 | |
馬達 |
| 單相, 100/115/200/230V, | |
滿載電流 | A | 2.6/1.3/1.6 | 2.1/2.2/1.1/1.1 |
重量 | kg | 14.0 | |
進出氣管道直徑 |
| 進氣管 KF-25 出氣管 KF-16 | |
環(huán)境溫度 | °C | 5 – 40 | |
水蒸氣處理 | g/天 | ≤5 (A.F. 開啟) | |
尺寸 | mm | 214(W) × 308(L) × 225(H) | |
四、外形圖
五、泵數曲線
六、對應電壓與認證
電壓 | 現行電壓 | CE 認證 | CSA 認證 |
單相, | 標準 |
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